piezoconcept-PM3LR級的Z部分可以具有高達(dá)50μm的行程范圍，并提供市場上非常高的速度能力（高達(dá)12.5kHz諧振頻率）。專為原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應(yīng)用而設(shè)計。包括控制器（USB 可選）。

piezoconcept SPM3LR平臺是一個3軸納米定位器，沿X和Y提供100μm，200μm或300μm的行程范圍.SPM3LR平臺的Z部分可以具有高達(dá)50μm的行程范圍，并提供市場上非常高的速度能力，非常大諧振頻率為12.5kHz

。SPM3LR.xxx.05 在 Z 軸上的階躍響應(yīng)時間可以小于一毫秒。

因此，SPM3LR載物臺特別適用于原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應(yīng)用。

XY規(guī)格

Z 規(guī)格

PIEZOCONCEPT三軸超高速納米定位器的規(guī)格